1、 X向橫梁:采用精密斜梁技術(shù)。
2、Y向?qū)к墸翰捎玫闹苯蛹庸ぴ诠ぷ髋_(tái)上的整體下燕尾槽定位結(jié)構(gòu)。
3、導(dǎo)軌方式:采用自潔式預(yù)載荷高精度空氣軸承組成的四面環(huán)抱式靜壓氣浮導(dǎo)軌。
4、驅(qū)動(dòng)系統(tǒng):采用本產(chǎn)高性能DC直流柔性同步齒形帶傳動(dòng)裝置,各軸均有限位和電子控制,傳動(dòng)更快捷、運(yùn)動(dòng)性能更佳。
5、Z向主軸:可調(diào)節(jié)的氣動(dòng)平衡裝置,提高了Z軸的定位精度。
6、控制系統(tǒng):采用進(jìn)口的雙計(jì)算機(jī)三座標(biāo)專用控制系統(tǒng)。
7、機(jī)器系統(tǒng):采用計(jì)算機(jī)輔助3D誤差修正技術(shù)(CAA),保證系統(tǒng)的長(zhǎng)期的穩(wěn)定性和高精度。
8、測(cè)量軟件:采用功能強(qiáng)大的3D-DMIS測(cè)量軟件包,具有完善的測(cè)量功能和聯(lián)機(jī)功能。